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假千金对照组?我选择上交国家! 第290章 你们的硼,不干净(第1页/共2页)


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    半导体研究所,晶体生长实验室。

    “顾总工,导热均衡层装上之后,连跑了几炉。”

    吴建华把数据纸往她面前一递,声音里压着股劲儿。

    “边缘微裂纹消失了,晶圆全过了外观检查。”

    顾昭昭接过数据纸,站在走廊里就翻。

    吴建华在旁边搓着手,跟等判卷的学生一个样。

    翻到第二页,目光在一列数字上停了两秒。

    翻到第三页,手指点在“位错密度”那一栏。

    “平均位错密度多少?”

    “三乘以十的三次方!”

    吴建华脱口而出。

    “比之前又降了半个数量级!”

    顾昭昭没接话。

    翻到最后一页——霍尔效应测试结果。

    载流子迁移率。

    数字列在纸上,黑白分明。

    她盯了三秒,合上数据纸。

    “吴所长,迁移率不达标。”

    吴建华的笑容凝在脸上。

    “你自己看。”

    顾昭昭把数据纸翻回最后一页,指尖点在第四列。

    “平均载流子迁移率,四千二百。军品级T/R组件的衬底要求,不低于五千。”

    吴建华一把抢过数据纸,眼镜差点从鼻梁上滑下来。

    “差了八百……”

    “差了百分之十六。”

    顾昭昭纠正他。

    “位错密度达标了,但迁移率上不去,说明问题不在晶体结构。”

    她推开实验室的铁门,直接走到液封直拉炉旁边。

    “废片在哪?”

    老周端过铝托盘。

    三片切好的废片搁在上面。

    顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对着头顶的白炽灯管调整角度。

    晶片表面泛起金属光泽。

    “不是炉子的问题。”

    她把晶片搁回托盘。

    “是材料。”

    吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。

    温彻背着军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。

    “液封直拉法,除了砷和镓,还有什么?”

    顾昭昭抬头问。

    吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”

    “你们的硼,哪儿来的?”

    “京市化学试剂厂,分析纯级别,纯度标称99.98%。”

    顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。

    “不够。”

    吴建华皱眉。

    “99.98%还不够?这已经是国内最高等级的分析纯了——”

    “分析纯的标称是总体金属杂质含量。”

    顾昭昭打断他,走到工作台前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。

    “硅、碳、铁。”

    “这三种痕量杂质只要有任何一个超标,在上千度高温下就会扩散进砷化镓熔体。”

    她又在黑板上画了个坩埚截面简图,三笔勾完。

    吴建华盯着黑板,两只手插进裤兜又抽出来。

    “我搞了三十年半导体,一直用分析纯的硼,从没人提过这个。”

    “因为以前拉两英寸的,晶体小,生长时间短,杂质效应被掩盖了。”

    顾昭昭看着他。

    “三英寸,高温保持时间更久,杂质有足够的时间往晶格里钻。”

    “尺寸一大,所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”

    吴建华沉默了十来秒。

    “那怎么办?国内有没有更高纯度的?”

    “没有,京市化学试剂厂的分析纯已经是天花板。进口渠道堵死了。”

    “所以——”

    “自己提纯。”

    顾昭昭从帆布包里掏出笔记本,翻到标记好的一页,拍在工作台上。

    “区域精炼法。”

    页面上画着工艺流程图,环节标注了具体数字。

    “五个九——99.999%?”

    老周脱口而出。

    “对。”

    吴建华看完流程图,抬起头。

    “上回坩埚热场,给了参数我让人直接改,三天搞定。但这个区域精炼——我手底下没人干过。”

    顾昭昭把笔记本合上。

    “所以我来了。”

    吴建华愣住。

    “我亲自做第一炉,你们的人在旁边看,看明白了,后面自己跑。”

    “你——做?”

    “有问题?”

    “没——没问题。”

    吴建华赶紧摇头,转身对着实验室吼了一嗓子。

    “老周!石英舟找出来!加热线圈备件有没有?”

    “有!”

    “全搬到三号操作间去!快!”

    …
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