了。
第三天晚上,高彦他们把拥有平面工艺的硅晶体管制造了出来,但接下来才是重头戏!
第四天,高彦三科的人聚集在一间简陋的研究室里,接下来他们要做的,就是把多个电子元件结合在一起。
高彦他们做的是单片集成,电子元件为4个平面NPN电子管,5个扩散电阻(高阻硅条),还有全铝线丝。
初代集成电路其实很简单,整体结构分为三个部分。
第一部分:顶层铝互连,把蒸镀铝薄膜光刻刻蚀成导线,然后连接晶体管的基极,集电极和发射极。
第二部分:二氧化硅绝缘层,硅片高温氧化生成。保护与绝缘,做光刻掩模,开接触孔,让铝线连接到硅。
第三部分:硅片主体,把所有我元件做在同一硅片上,晶体管,电阻,隔离区都由扩散掺杂方式形成。
其中的核心就是平面NPN晶体管,它的特点就是全平面,可以把发射区,基电区,还有集电区完全覆盖起来。
高彦他们整整研究了一天,在残废了30多个晶体管,还有40多个电阻之后~
一个极其简陋,甚至有些丑陋的集成电路终于完成了!
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