模板被小心翼翼地安装到位,
整台机器静静地立在无尘车间中央,闪烁着精密电子元器件特有的光芒时,
整个团队的疲惫仿佛都被这股光芒驱散了,取而代之的是难以置信的激动和期待。
“江澈同志...我们,可以进行首次芯片光刻测试吗?”
赵建生激动地搓着手,声音微微颤抖,他甚至拧了拧自己的脸确认是不是在做梦,
困扰龙国这么多年的技术壁垒终于被打破了?
“可以。”
江澈的语气依旧平淡,但眼神也闪过一抹期待。
“好,各人员就位,准备第一次光刻测试!”
随着赵建生一声令下,整个车间瞬间安静下来,各种精密传感器与执行器在江澈设计的控制算法下协同运作。
光刻机的核心光源系统率先启动,发出稳定纯净的极紫外光,
硅晶圆在真空腔体内被精密工件台以超乎想象的速度和精度移动,
每一次微小的震动都被复杂的阻尼系统完美吸收抵消。
伺服电机精确驱动着镜头和掩模版的位置,确保图案叠加的准确性,
冷却液在复杂的内部管道中无声流动,带走激光光源和高速运动部件产生的巨大热量。
时间一分一秒地过去,
所有人的目光都死死地盯着控制台屏幕上的实时数据和最终的光刻结果,
预览屏幕上跳动的数据如同心跳一般牵动着每个人的神经,
终于,经过一段令人窒息的等待,屏幕上显示出了最终的结果!
......
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