北京,汉东,南湖展区中央,一座玻璃恒温箱内,静静陈列着一片12英寸硅晶圆。
显微投影将其电路放大千倍——38纳米线宽清晰可见,晶体管密度远超同期65nm产品。
全息屏上,HL-38i光刻机剖视图缓缓旋转,标注着:“中国首台自主38nm浸没式光刻机,分辨率≤38nm,套刻精度≤8nm”。
忽然,入口处一阵骚动。
比尔·盖茨缓步走入,西装笔挺,神情复杂。
紧随其后,黑色高领衫、牛仔裤的乔布斯双手插兜,目光如鹰隼般扫视那片晶圆。
两人对视一眼,竟罕见地微微点头——共同的震撼,让他们暂时放下恩怨。
随后,任政非、雷布斯、求白君等人鱼贯而入,彼此寒暄,眼中却都燃着同一种火焰:骄傲。
赵崇明站在展区中央,一身深灰西装,笑容温和:“感谢各位莅临汉东之夜。”
记者们看到这一幕一个个都是震撼万分。
赵崇明这个家伙,他又开始整大活了。
“各位!”赵崇明笑了笑:“这就是汉东省的光刻机,大家可以放心的欣赏,看看我们的技术到底是真的还是假的。”
环形全息屏幽蓝微光流转,3米高的虚拟空间内,HL-38i光刻机的1:1剖视图缓缓旋转。
镜头推进——193纳米ArF准分子激光从光源室射出,经十组高精度反射镜校正,精准聚焦于硅片表面;
双工件台以每秒200纳米的步进速度同步移动,误差控制在±2纳米以内;浸没式喷淋系统在镜头与晶圆间形成超纯水膜,提升分辨率至38纳米极限。
乔布斯站在最前排,双手插在牛仔裤口袋里,眉头紧锁。
库克则微微前倾,眼镜反着冷光,手指无意识地摩挲着腕表,说实话,此时此刻,库克是有一些紧张的,芯片对于手机来说这很重要。
赵崇明现在对他们来说就是断崖式领先。
如果他们追不上,就要被彻底甩开。
叫他们来,他们不得不来。
突然,全息画面切换。
不再是模拟动画,而是南湖园区地下洁净室的实时直播。
镜头对准一台银灰色巨型设备——正是HL-38i本体。
机械臂缓缓从曝光腔中移出一个晶圆传送盒,LED屏显示:“批次#20080808-T1,完成,良率76.3%。”
解说员声音沉稳而清晰:
“此刻,这台光刻机正在汉东南湖生产Nova2与华为基站所用的T-1芯片。它每小时可加工120片12英寸晶圆,良率达75%——与国际同类设备持平。”
话音未落,全场哗然。
比尔·盖茨站在右侧,原本抱着手臂、神情克制,此刻却不由自主向前迈了一步。
他死死盯着屏幕上那个“76.3%”的数字,瞳孔微缩。
“75%良率……在38纳米?!”
他低声喃喃,仿佛自语,“这不可能……尼康和ASML的早期38nm设备,良率不到50%……”
他猛地转头问随行微软硬件总监:“我们【动能】项目规划的芯片,是不是还在等台积电45nm产能?”
对方脸色发白:“是……而且排期到2009年Q2。”
盖茨闭上眼,深吸一口气——他知道,微软的硬件梦,刚刚被卡住了咽喉。
赵崇明,你狗日的,肆无忌惮,果然是有道理的。
乔布斯则一言不发,但额角青筋微微跳动。
他认得那套双工件台结构——与ASML Twinscan如出一辙,却明显经过重新设计,体积更紧凑,运动轨迹更高效。
更让他心惊的是:整个系统没有一处标注“进口”或“授权”字样,所有部件铭牌均为中文:“汉光精密”“南湖光学”“崇明半导体”。
“他们连物镜组都自己做了?”他终于开口,声音沙哑。
库克点头,声音发紧:“看镀膜工艺……应该是氟化钙+多层介质膜组合。这技术,日本尼康封锁了二十年。”
乔布斯沉默良久,忽然低声道:“我记得,去年中国跟日本起了冲突,尼康是不是把技术拿出来了,他们这么快,就弄出来了这个技术?”
库克深吸了一口气道:“现在看来,好像是真的!”
乔布斯深吸了一口气:“回去后,立刻启动‘东方供应链评估计划’,如果中国人真能独立造出38纳米产线……我们就不能再把鸡蛋全放在三星和台积电的篮子里。”
而任政非站在人群另一侧,这会儿也是沉默了。
其实,赵崇明跟华为的合作一直都有,一些技术也是互相共享的。
在任政非身后,海思团队几名工程师激动得握紧拳头。
“T-1芯片,我们进行了改装,也是我们基站的基带处理器!”一名年轻
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