通体银灰、流线如剑的巨型设备——机身铭牌上赫然刻着:
HL-38i·羲和一号
华刻集团&南湖光刻联合实验室·自主研制
“这是……你们自己的光刻机?”戴维声音发颤。
“对。”李哲语气平静却带着骄傲,“全球首台量产型38nm浸没式光刻机,套刻精度±2.8nm,产能每小时180片。去年十二月通过国家验收,今年一月正式用于T系列芯片流片。”
戴维走近几步,仔细观察光学系统。
双工件台同步控制、自研激光光源、纳米级对准传感器……每一处细节都透着扎实的工程功底,毫无拼凑痕迹。
“这不可能……”他喃喃道:“根据瓦森纳协定,美国对华禁运EUV,连最先进的DUV都卡脖子,你们怎么做到的?”
“别人不给路,我们就自己铺铁轨。”李哲微笑,“从激光器到精密导轨,从控制算法到光刻胶配套,全部国产化。连冷却系统用的都是汉江深层水循环。”
他指向工作台:“T-1芯片,就是在这台‘羲和一号’上诞生的。良率92.7%,性能对标高通QSC6200,功耗低22%。”
戴维戴上显微目镜,观察一块T-1晶圆切片。
射频前端布局精妙,电源域隔离干净,连他当年在高通反复优化的“动态阻抗匹配环”,都被巧妙重构,性能提升12%。
他摘下目镜,久久无言。
不是因为震惊,而是因为——尊重。
这群人没有抄袭,没有乞讨技术,而是用最硬的方式,一毫米一毫米磨出了自己的路。
这里是华夏?这里是汉东?
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