面;
纳米级工件台以0.1微米精度移动,定位误差小于3纳米。
大屏幕上,实时监控画面跳动:
曝光开始……
套刻精度:2.8nm(目标≤4nm)
线宽均匀性:±1.1nm(目标±1.5nm)
良率预测:92.7%
时间一分一秒过去。
十分钟后,机械臂缓缓托出第一片测试晶圆。
检测仪扫描完成——
图形完整,线宽38.2nm,无断线、无桥接、无畸变。
成功了!
“成了!!”
吴启明突然嘶吼一声,老泪纵横,一把抱住身边的周秉义。
整个大厅瞬间沸腾!
科研人员相拥而泣,年轻的工程师跪在地上,双手捂脸,肩膀剧烈抽动。
军方代表摘下眼镜,悄悄擦拭眼角。
科技部副部长快步上前,紧紧握住赵崇明的手,声音哽咽:“小赵……你……你们给国家,争了一口气啊!”
赵崇明客气的开口道:“领导,您说笑了,这哪里是我一个人的功劳,这是大家集体的努力,不然,是没有这么容易的!”
而林振邦没有动。
他颤巍巍地走到晶圆前,伸出枯瘦的手,轻轻抚摸那冰冷的硅片表面,仿佛在触碰一个民族百年的梦。
忽然,他双膝一软,竟要跪下。
赵崇明眼疾手快,一把扶住:“林老!您不能跪!该跪的是我们——是我们晚辈,让您等了太久!”
林振邦抬起头,满脸泪水,嘴唇哆嗦着,终于喊出那句埋藏了一生的话:
“艹……我林振邦活了八十六年,
今天,
终于看到——
华夏自己的光刻机,
刻出了自己的芯!”
话音未落,老人嚎啕大哭,像一个终于等到父亲归家的孩子。
全场肃立,无人言语。
唯有那台光刻机,仍在低鸣,
如龙吟,
如钟响,
如一个古老文明,在沉默百年后,
第一次向世界发出自己的声音。
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