假千金对照组？我选择上交国家！ 第286章 这张图，至少领先十年！(第1页/共2页)


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    半导体研究所。

    顾昭昭到的时候，吴建华已经在实验室门口等着了。

    跟上回不一样，这回老头儿没端着架子。

    远远瞅见那个背帆布包的瘦削身影拐过楼角，直接迎上来，脚步比秘书还快。

    “顾总工，第三炉昨天下午出炉了。”

    吴建华边走边说，语速比平时快了一截。

    他推开实验室的铁门，侧身让顾昭昭先进。

    实验室里灯管亮得刺眼。

    长条工作台上，十二片晶圆整整齐齐码在垫了绒布的铝托盘里。

    吴建华的得意劲儿藏都藏不住。

    三英寸的军品级砷化镓衬底。

    搁三个月前，他做梦都不敢想能在自己手里拉出来。

    顾昭昭没吭声。

    她放下帆布包，从托盘里取出第一片晶圆，举到灯光底下。

    转了半圈，搁下。

    拿起第二片。

    再搁下。

    一片一片看过去，动作不快，但每一片停留的时间几乎一模一样。

    吴建华站在旁边，心里头有点打鼓。

    看到第九片的时候，顾昭昭停下了。

    她把晶圆翻了个面，凑到灯管正底下，眯起眼。

    然后搁下，拿起第十片。

    同样的位置，同样翻面。

    “显微镜。”

    吴建华一愣，扭头冲旁边喊：“老周，把金相显微镜推过来！”

    老周手脚麻利，三十秒不到，显微镜到位。

    顾昭昭把第九片晶圆卡上载物台，调焦，低头看了十几秒。

    换第十片。

    又看了十几秒。

    她直起身，退后一步。

    “吴所长，你自己看，九号和十号，边缘区域，两点钟方向。”

    吴建华三步并两步凑上去，低头贴上目镜。

    五秒钟。

    他的眉头拧成了疙瘩。

    “微裂纹？”

    “对。”

    “宽度大约零点三微米，沿晶向延伸，长度不超过八十微米。”

    吴建华直起腰，脸色有些挂不住。

    他刚才明明检查过。

    肉眼和常规检测都没查出毛病。

    “这个裂纹在中心区域没有，只出现在边缘。也不是每片都有，十二片里我看了四片有类似痕迹。”

    顾昭昭走到工作台旁，拿起铅笔和一张草稿纸。

    “问题不在拉晶参数上，参数没毛病。”

    她画了个坩埚截面示意图，三笔勾完。

    “问题出在坩埚的热场分布，你们的加热器是单区控温，坩埚中心和边缘的温差，实际上比你们仪表读出来的大。”

    吴建华盯着那个截面图：“大多少？”

    “中心和边缘的实际温差在八到十二度之间。你们的仪表只能测到坩埚外壁温度，内部熔体边缘的真实温度，测不着。”

    老周站在旁边，嘴巴张的老大，手里记录本忘了写。

    “晶体生长过程中，边缘冷得比中心快，热应力集中，就产生微裂纹，晶体越大，效应越明显。”

    顾昭昭在截面图上添了几个箭头，标出热流方向。

    “两英寸的时候问题不大，尺寸小，温差效应弱。三英寸一上来，边缘应力就扛不住了。”

    吴建华的脸沉下来了。

    他干了几十年，热场梯度的重要性当然清楚。

    可设备条件摆在那儿，一直默认单区控温够用。

    “能不能改？”

    吴建华没绕弯子。

    “两个办法。”

    顾昭昭竖起两根手指。

    “第一个是换双区加热器，但你们现有的炉子改造起来至少两个月。”

    “第二个是在坩埚外壁加一层导热均衡层。相当于给坩埚穿一件棉袄，把热量匀开。”

    她在草稿纸上写下导热均衡层的具体尺寸参数和安装位置。

    “第二种方案，三天就能改完。”

    吴建华拿起那张草稿纸，看了三遍。

    “老周。”

    “在。”

    “去找材料组的老赵，让他今天下午就备料。”

    “是！”

    老周抱着纸就往外跑。

    吴建华搓了搓手，转向顾昭昭。

    这回他脸上没有尴尬，也没有客套。

    “顾总工，我搞了三十年半导体，坩埚热场这个问题困了我们组至少五年。五年，换了三茬人，谁都没吃透。你来了两趟，全给捅破了。”

    顾昭昭没接话。

    她从帆布包里掏出笔记本，翻到夹着标签的那一页。

    “吴所长，衬底的事交给你继续跑。我今天来，还有另一件事。”

    她走到实验室角落那块积了粉笔灰的大黑板前。

    “T/R组
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