带万亿网友回八零，重铸大国重工 第331章 流片成功！(第1页/共2页)


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    ......

    第七天。

    凌晨两点零三分。

    帝都的夜很安静。

    中关村的路灯坏了两盏，没人修。

    地下室里，VAX-11的风扇嗡嗡地转。

    司徒渊敲下最后一个回车键。

    仿真程序运行了五十一分钟。

    屏幕上的代码，像瀑布一样狂泄。

    三个人谁都没坐。

    张秉谦站在屏幕左侧，老花镜推到了额头上，反而不戴了。

    林希站在右侧，双手插在裤兜里。

    司徒渊站在正中间，手搭在键盘边框上，指甲盖发白。

    瀑布停止。

    最后三行。

    全是悦目的纯绿色。

    `ISA Bus Timing: PASSED`

    `All Timing Constraints: MET`

    `Total Violations: 0`

    张秉谦摘下额头上的老花镜。

    他没喊，没笑。

    他把眼镜折好，小心翼翼地放进胸口的口袋里。

    然后他蹲了下去。

    蹲在冰凉的瓷砖地面上，双手捂住了脸。

    肩膀在抖。

    没有声音。

    林希转过头，不去看他。

    司徒渊也转过头。

    去看那台冰箱大小的机器。

    米白色的外壳上，DEC的标志在地下室的日光灯管下反着光。

    他盯着那个标志看了几秒。

    然后伸出手，轻轻地拍了拍机箱外壳。

    “谢了。”他用英语说。

    声音很轻。

    直播间安静了整整八秒。

    然后弹幕像潮水一样涌上来。

    【零违规！！！全部通过！！！】

    【七天！三个人干了别人一个团队半年的活！】

    【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】

    【不说了，眼睛进沙子了】

    ......

    从中关村的地下室，到津门二厂的轰鸣。

    短短几天，犹如跨越了一个时代。

    七月一号。

    津门无线电二厂。

    硅基产线全速开动。

    这是GK-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。

    陈默亲自操机，手指搭在对焦旋钮上，眼睛贴着目镜。

    光栅尺的数字跳动，伺服电机精准补偿每一个微米的误差。

    曝光。

    显影。

    硅片上的线条清晰锐利，边缘笔直。

    刻蚀环节，BOE槽液控温稳定在三十五度。

    第一批硅片过检，沟槽完美。

    陈默回头冲林希竖了个大拇指。

    直到离子注入。

    长安771所支援的国产离子注入机是十年前的老型号。

    苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜，反复调整参数。

    打出来的硅片，送到显微镜下一看。

    掺杂深度分布不均匀。

    有的区域深了，有的区域浅了。

    像一块没发好的面，有些地方鼓着，有些地方瘪着。

    直接后果：芯片漏电。

    测试探针扎下去，电流一路跑偏，根本锁不住。

    苏佩兰试了七组参数，全部失败。

    “机器太老了。”

    她摘下防尘面罩，额头上全是汗。

    “束流不稳，真空也拉不到位。”

    车间里的气氛沉下去了。

    光刻过了，刻蚀过了，偏偏倒在了最基础的掺杂上。

    林希站在注入机旁边，手扶着冰凉的金属外壳。

    他闭上眼睛。

    脑海中，直播间的弹幕已经开始翻涌。

    【离子注入！关键参数来了！！！】

    【我查了771所这批机器的资料——核心问题是束流电流太低导致注入时间过长，硅片在真空腔里受热不均匀！】

    【解法很简单但很反直觉——把束流电流提上去！10mA！加速电压拉到50keV！让注入时间缩短，减少热积累！】

    【最关键的一步：真空度！必须拉到10的负5次方帕斯卡！不然残余气体会和离子束发生散射，杂质分布肯定不均匀！】

    【对！这台老机器的分子泵其实能达到这个真空度，但出厂预设太保守了，得手动调旁通阀把抽速拉满！】

    林希睁开眼。

    “苏师傅。”

    苏佩兰回头。

    “束流电流调到10毫安。”

    “加速电压拉到50千电子伏特。”

    苏佩兰愣了一下。

    “电流10毫安？”

  
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